Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR)-analysatorn används i halvledartillverkningsindustrin. FTIR är ett instrument för spektralanalys som använder infraröd spektroskopi för att analysera föroreningskoncentrationen genom Fouriertransform. Spektrometern består huvudsakligen av en ljuskälla (kiselkolstav, högtryckskvicksilverlampa), Michelson-interferometer, detektor och interferometer
Det infraröda ljuset som emitteras av den infraröda ljuskällan S kollimeras till en parallell infraröd stråle och kommer in i interferenssystemet. Efter justering med interferometern erhålls en stråle av interferensljus. Interferensljuset passerar genom provet Sa för att erhålla en interferenssignal innehållande spektral information, som når detektor D och sedan omvandlas till en elektrisk signal av D. Störsignalen här är en tidsfunktion, vilket är interferensmönstret som ritas av interferenssignalen , och dess horisontella axel är rörelsetiden eller avståndet för den rörliga spegeln. Detta interferensmönster skickas till datorn genom en A/D-omvandlare, och datorn utför snabba Fourier-transformationsberäkningar för att erhålla ett infrarött spektrum med vågnummer som horisontell axel. Sedan skickas den till en plotter genom en D/A-omvandlare för att rita ett mycket välbekant standard infrarött absorptionsspektrum.
